成都检测中心3D微观形貌量测和分析及表面粗糙度：
主要功能
1.利用纳米级光学干涉技术为客户提供开发段制程参数较佳化验证分析，节省开发成本，缩 短开发周期
2、微/纳米级机电组件之尺寸量测及表面微观结构分析
3、样品表面失效分析、缺陷分析、微观截面轮廓比对等
4、摩擦学（摩擦磨损）以及腐蚀微观表面工程等研究
5、透明及半透明膜厚测试、曲率半径分析等
6、精细表面2D/3D表面粗糙度量测 主要量测参数 1、2D/3D表面粗糙度 2、微观表面扫描分析 3、纳米级尺寸检测 4、缺陷分析
