微观尺寸是一般是指用三坐标测量机及影像测量机等高精度测量仪器也无法量测尺寸，通常指2μm以下 的尺寸。

游标卡尺、千分尺等常规量测工具之尺寸检测数据重复性一般低于三坐标、影像等自动化较高的量测设备。

微观尺寸检测
优尔鸿信成都检测中心配备了布鲁克的3D白光干涉仪、东京精密的2D探针轮廓仪、扫描电子显微镜等国际**精密设备，能为企业提供微米、纳米级别的微观尺寸量测、3D形貌扫描分析、非常规尺寸（如微小部件的R角半径、样品表面异常分析等）以及表面粗糙检测等服务，帮助企业解决一系列产品开发、生产过程中出现的各种异常状况，协助企业管控生产质量。
主要服务项目：
表面粗糙度测量（Rz、Ra、Rq、Rv、Sa、Sz等参数）；
波纹度检测；
机械加工、表面处理等制程；
轮廓尺寸测量、轮廓尺寸验证；
表面失效/缺陷尺寸分析（划痕、白点、表面雾化等）；
微观尺寸测量（长宽高、半径、面积、体积等）；
透明/半透明膜厚测试；
3D微观表面扫描、3D微观表面缝合扫描；
非常规尺寸测量（微小部件圆角半径、倒角塌边等）；
粉末颗粒粒径测量；
产品加工刀纹尺寸测量等。

表面粗糙度检测
表面粗糙度是指加工表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度 。其两波峰或两波谷之间的距离（波距）很小（在1mm以下），它属于微观几何形状误差。
影响：表面粗糙度与机械零件的配合性质、耐磨性、疲劳强度、接触刚度、振动和噪声等有密切关系，对机械产品的使用寿命和可靠性有重要影响。
作用：生产过程控制、预测工件的表现、零件的性能
表面粗糙度参数：Ra、Rz 、Rp 、Rv、Sa、Sz等
表面粗糙度参数含义
Ra评定轮廓算术平均偏差：在一个取样长度内纵坐标值的的算术平均值。
Rz轮廓大高度：在一个取样长度内，大轮廓峰高与低轮廓谷深之间的距离。（在GB/T 3505-83版中Rz曾用于表示‘不平度的十点高度’。）
Rt轮廓总高度：在评定长度内大轮廓峰高和低轮廓谷深之间的距离。（由于评定长度≥取样长度，故Rt≥Rz）
Sa评定表面算术平均偏差:在取样面积内纵坐标的的算术平均值。（3D光学干涉法测量出的面粗糙度，适用于Ra≤0.8微米的表面粗糙度）
Rq评定轮廓的均方根差：在一个取样长度内纵坐标的均方根值。
测量方法：探针接触式测量法、光学干涉非接触式测量法
检测设备：2D轮廓扫描仪、3D光学干涉仪
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