检测项目
※SEM断口观察 + 微区污染EDS分析：
观察金属、塑料、陶瓷等固体材料的表面微观形貌以及测量微小尺寸。分析固体表面微区
含有的元素种类,各元素的 相对含量以及各元素在特定区域内的含量分布情况 。
※表面成份 + 深度 GD-OES分析：
既可以进行基体成分分析,如硬质合金材料,也可以进行表面成分-深度剖析,如PVD薄膜、
电镀层、热处理硬化层、涂装层、阳极氧化膜及化膜的表面工艺分析。
※制程质量缺陷分析
SEM/EDS
功能: 微观形貌观察、微小尺寸量测、微区成分分析
放大倍率: 5倍~30万倍
探测器分辨率: 133eV
可分析元素范围: Be(4)~U(92)
辉光放电光谱仪(GD-OES)
功能: 基材成分测试、表面成分-深度剖析
特点: 可得到产品表面成分随深度的分布曲线
深度范围: 10nm~150μm
成分范围: 10ppm~**